中科纳微真空科技(合肥)有限公司由中国科学院合肥物质研究院和合肥工业大学的一批博士、硕士及科研人员联合组建，专注于真空组件及真空系统的设计与集成。产品系列涵盖旋转阴极端头、磁棒、平面阴极、溅射枪及远程等离子清洗设备等，已成功批量应用于光伏、节能玻璃、集成电路、锂电池等行业的龙头企业，实现了进口替代。经过两年的快速发展，公司已成为全球最大的磁控溅射组件供应商之一。
公司现拥有4000㎡生产工厂、净化车间及研发中心，配备完善的生产管理体系与实验、检测平台，32000㎡的真空组件产业园正在筹建中，预计建成后将进一步提升公司的创新能力，助力产业发展。
合肥高新创业投资管理合伙企业（有限合伙）
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