合肥市纳诺半导体有限公司于2021年7月成立于合肥高新区，由从美国硅谷归国的领军博士朱俊创建。公司集聚了世界一流人才，针对西方对半导体检测设备的技术封锁，自主研发7nm图形晶圆暗场缺陷检测DUVDFI设备，产品对标KLAVoyager1015和1035.纳诺半导体助力中国半导体产业解决西方“卡脖子”难题，研发水平世界先进，产品填补国内技术空白。

      公司投入四年时间和超亿元研发资金，成功研发了DF70和DF80两款DUV图形晶圆暗场缺陷检测产品，DF70对标KLAPUMA9980.适用于2Xnm工艺制程;DF80对标KLAVoyager1015产品，适用于7nm与1Xnm的先进工艺制程。研发团队在多个领域突破了诸多的技术难题，实现了关键零部件的国产化，设备产品已进入客户样片的DEMO阶段。

      公司还在同步研发裸硅片缺陷检测设备SS100.对标KLASP7产品，产品适用于7nm先进制程工艺良率控制，计划在2025年底前进入客户样片DEMO阶段。