纳诺半导体成立于2021年7月,坐落于合肥高新区中安创谷,致力于半导体晶圆芯片关键量检测设备的国产化。公司给国内FAB厂提供前道制程缺陷检测和良率控制的解决方案,助力中国半导体先进制造核心量检测技术的自主可控。
纳诺半导体全资子公司包括江苏三米科思半导体设备有限公司、北京三米科思半导体设备有限公司、和上海臻驭半导体设备有限公司。
公司是中科大校友创业企业,创始人CEO是美国斯坦福ZHU JUN博士,在合肥、常州、北京、上海四个城市组建研发、生产和销售团队。
公司已正式向客户交付首款“帆船(Vela)”系列有图形晶圆缺陷检测设备X70,可覆盖28纳米成熟制程;14纳米、7纳米先进制程的相关产品,技术指标对标国外最先进的光学缺陷检测技术,预计将于年内陆续推向市场。
公司研发团队获“江淮硅谷”创新创业团队、合肥高新区“科创金融奖-双创团队奖”、科技型中小企业、创新型中小企业等多项荣誉;
公司已先后完成三轮股权融资,累计融资金额8900万元,目前公司正处于新一轮融资推进阶段,本次拟融资规模8000万元。